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1．機械技術

儀器各部分的安裝固定，儀器測量精度、定位精度和運動精度的保證，由精密機械系統來實現和完成。精密儀器的測量控制對象也通常為機械結構的運動量。

2．電子技術

實現信號的轉換、傳輸、放大。研究對象包括：

①測量電路：實現信號的轉換。

②計算機控制：包括信號處理分析，以及在此基礎上的自動控制（發出控制指令）。

③伺服驅動：電子與機械部分的接口，按控制指令的要求控制被控對象實現預定的動作。

3．光學技術

利用各種光學原理，實現對被測量的轉換、放大、投影、顯示、傳輸等。傳統的光學系統是與機械技術相結合實現其功能的，現代的光學系統又結合了電子技術，實現光學信息的處理和控制。

光、機、電技術相結合進一步擴大了現代精密儀器的應用領域。